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Konfokale Laserscanning-Mikroskopie

… insbesondere für präzise Rauheitsmessungen auch auf glänzenden und transparenten Objekten.

Der Laserstrahl scannt den Bereich innerhalb eines Sichtfeldes (1.024×768 Pixel) ab. Durch die Lochblende kommt nur das Licht jenes Pixels am Detektor an, welches im oder nahe am Fokus liegt. Dieser Vorgang wird bei Verschiebung der Z-Achse mehrfach wiederholt. Die Zusammensetzung der Pixel mit der Z-Information ihrer höchsten Lichtintensität ergibt ein tiefenscharfes 3D-Bild.

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Fokusvariation

… sie eignet sich für große Höhenunterschiede und Flankenwinkel bis 87°

Das Messobjekt wird schichtweise in der Z-Achse mittels einer 5,6-Megapixel-CMOS-Farbkamera gescannt. Objektpunkte (Pixel), welche sich im Fokus befinden, haben den höchsten Helligkeitsunterschied zu den Nachbarpixeln. Die Höhe für diese Punkte kann mittels dem integrierten hochpräzisen Linearmaßstab ermittelt werden.

Durch die Tiefenzusammensetzung aller im Fokus befindlichen Pixel zusammen mit deren Z-Achsen-Information wird eine gestochen scharfe 3D-Aufnahme des Messobjektes generiert. Mit vielfältigen Analysewerkzeugen kann das Messergebnis vermessen, verglichen oder anderweitig ausgewertet werden.

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Weißlichtinterferometrie

… hat die höchste Auflösung in der Z-Achse. Insbesondere zum Messen von Ebenheit und Stufenhöhen.

Weißes Licht wird an einem Strahlteiler geteilt. Ein Teil des Lichtes trifft auf einen integrierten Referenzspiegel, der andere Teil trifft auf das Messobjekt. Die reflektierten Strahlen von Objekt und Spiegel überlagern sich und es entsteht ein Interferenzmuster welches über einen Algorithmus ausgewertet wird und so die Oberflächeninformationen liefert.

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Streifenlicht-Projektion

… 3D-Scan mit einer Genauigkeit von +/- 2µ ist auf unterschiedlichsten Materialien möglich.

Das vom Sendeobjektiv ausgegebene Lichtstreifenmuster wird von der Oberfläche des Messobjekts reflektiert. Das reflektierte Licht fällt auf das Empfängerobjektiv, wo die Erhebungen und Vertiefungen zu entsprechenden Verschiebungen der Lichtstreifen führen. Mithilfe von Triangulation kann anhand der Verschiebungen die Höhe des Messpunktes ermittelt werden.

Unser 3D-Profilometer erlaubt die unterschiedlichsten Auswertungen wie z.B. Stapelverarbeitung, Querschnittmessung, Profilmessung, Ebenheitsmessung, Rauheitsmessung, sowie die Ausgabe von 3D-Daten für noch umfangreichere Analysen oder Reverse-Engineering. Zusätzlich ist das Gerät mit einer Drehachse ausgestattet, die den vollständigen Rundumscan erlaubt.