Weißlichtinterferometrie

… hat die höchste Auflösung in der Z-Achse. Insbesondere zum Messen von Ebenheit und Stufenhöhen.

Weißes Licht wird an einem Strahlteiler geteilt. Ein Teil des Lichtes trifft auf einen integrierten Referenzspiegel, der andere Teil trifft auf das Messobjekt. Die reflektierten Strahlen von Objekt und Spiegel überlagern sich und es entsteht ein Interferenzmuster welches über einen Algorithmus ausgewertet wird und so die Oberflächeninformationen liefert.