Konfokale Laserscanning-Mikroskopie
… insbesondere für präzise Rauheitsmessungen auch auf glänzenden und transparenten Objekten.
Fokusvariation
… sie eignet sich für große Höhenunterschiede und Flankenwinkel bis 87°
Weißlichtinterferometrie
… hat die höchste Auflösung in der Z-Achse. Insbesondere zum Messen von Ebenheit und Stufenhöhen.
Streifenlichtprojektion
… 3D-Scan mit einer Genauigkeit von +/- 2µ ist auf unterschiedlichsten Materialien möglich.
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